ද්රව්ය හැසිරවීම ද්රව්ය හැසිරවීමේ යෙදුම් අවස්ථා, එනම් තෝරා ගැනීම සහ තැබීම, පැලට් කිරීම සහ ඩිපැල්ටයිස් කිරීම. ① කොබොට් නම්යශීලී සැපයුම් පද්ධතියකින් පරීක්ෂණ නල ලබා ගනී. ② පැලේටයිසින් සහ පැලේටයිසින් ඉවත් කිරීමේ කොබොට් සහ ඒඑම්ආර් ③ අර්ධ සන්නායක වේෆර් ප්රවාහනය